Dans l'industrie des puces avec une technologie de haute technologie, la cible de pulvérisation est une matière première nécessaire pour la fabrication de VLSI. Ce qui utilise l'ion, la source d'ions par accélération recueillie dans le vide élevé et la formation d'une poutre d'ion à grande vitesse, le bombardement de la surface solide, des ions et de l'échange de dynamique atomique de surface solide.
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