Quelle est la cible de pulvérisation?

Le revêtement de pulvérisation de magnétron est un nouveau procédé de revêtement de phase de gaz physique, qui consiste à utiliser le système de pistolet à électrons pour émettre des électrons et à se concentrer sur le matériau revêtu, de sorte que les atomes de pulvérisation suivent le principe de conversion de l'élan pour s'envoler du matériau avec une cinétique élevée. énergie au film de dépôt du substrat. Ce matériau plaqué s'appelle lecible de pulvérisation.

Application de cible de pulvérisation

La pulvérisation est l'une des technologies principales de la préparation de matériaux de film mince, qui utilise l'ion, la source d'ions par accélération recueillie dans un aspirateur et la formation d'un faisceau d'ion à haute vitesse, le bombardement de la surface solide, des ions et un solide Échange de dynamique atomique de surface, de solide solide atomique et de dépôt dans la surface basale, le solide bombardé est un film de dépôt de pulvérisation de matières premières. Il s'appelle le matériau cible de pulvérisation. Différents types de matériaux de film mince de pulvérisation ont été largement utilisés dans les circuits intégrés à semi-conducteurs, le support d'enregistrement, l'affichage plane et le revêtement de surface de la pièce. L'environnement à haute température et à vide dans la chambre de réaction provoque que ces atomes métalliques forment des grains, qui sont ensuite microparticulés et gravés dans des couches de fils métalliques qui transmettent des données sur la puce.

La cible de pulvérisation est principalement utilisée dans l'industrie électronique et l'industrie de l'information, telles que les circuits intégrés, le stockage d'informations, l'affichage à cristaux liquides, la mémoire laser, les dispositifs de commande électroniques, etc. peuvent également être utilisés dans le champ de revêtement de verre; Il peut également être utilisé dans des matériaux résistants à l'usure, une résistance à la corrosion à haute température, des produits décoratifs de haute qualité et d'autres industries.