Application de revêtement de pulvérisation magnétron dans des champs communs

Application de revêtement de pulvérisation magnétron

Pulvérisation de magnétronLa méthode peut être utilisée pour préparer une variété de matériaux, tels que les métaux, les semi-conducteurs, les isolateurs, etc. Il présente les avantages de l'équipement simple, du contrôle facile, de la grande surface de revêtement, une adhésion forte et ainsi de suite. Développement de la pulvérisation magnétraire jusqu'à présent, en plus des avantages de la méthode de pulvérisation générale, mais également d'atteindre une vitesse élevée, de basse température, de faibles dégâts.

Diverses fonctions de film:telle que l'absorption, la transmission, la réflexion, la réfraction, la polarisation et d'autres fonctions. Par exemple, le film antireflet de nitrure de silicium est déposé à basse température pour améliorer l'efficacité de la conversion photoélectrique des cellules solaires.

Microélectronique:Peut être utilisé comme une technologie de revêtement non chaude, principalement utilisée pour les dépôts de vapeur chimique (CVD).

Application de décoration:tels que toutes sortes de films de réflexion totale et de film translucide; Comme cas de téléphone mobile, souris et ainsi de suite.

Certains matériaux inappropriés pour les dépôts de vapeur chimique (MOCVD) peuvent être déposés par pulvérisation de magnétron, qui peut obtenir des films de grande surface uniformes.

Industrie mécanique:Tels que le film fonctionnel de surface, le film superhard, le film auto-lubrifiant, etc. Ces films peuvent améliorer efficacement la dureté de la surface, la ténacité composée, la résistance à l'usure et la stabilité chimique à haute température, augmentant ainsi considérablement la durée de vie des produits.

Champ optique:La technologie de pulvérisation de magnétron de champ non équilibré de champ fermé a également été appliquée à des films optiques (tels que le film anti-réflexion), le verre de rayonnement faible et le verre conducteur transparent. En particulier, le verre conducteur transparent est largement utilisé dans des dispositifs d'affichage à panneau plat, des cellules solaires, des dispositifs et des dispositifs de blindage à micro-ondes et de protection RF, des capteurs, etc. Outre les champs ci-dessus, la pulvérisation de magnétron joue également un rôle important dans la recherche de HTS mince Films, films minces ferroélectriques, magnétorérésistance géants films minces, matériaux luminescents minces, cellules solaires, films en alliage de mémoire.