Nitride de Tantalum (Tan) -cubes / carrés
Description du produit
Caractéristique
Le nitrure de tantale (TaN) est un composé chimique, un nitrure de tantale. Il existe plusieurs phases de composés, stoichimétriquement de Ta2N à Ta3N5y compris TaN.
Formule chimique ： TaN
Masse molaire ： 194,955 g / mol
Apparence: cristaux noirs
Densité ： 14,3 g / cm3
Point de fusion ： 3,090 ° C (5,590 ° F; 3,360 K)
Solubilité dans l'eau ： insoluble
Structure cristalline ： Hexagonale, hP6
Application
Il est parfois utilisé dans la fabrication de circuits intégrés pour créer une barrière de diffusion ou des couches de «colle» entre le cuivre ou d'autres métaux conducteurs. Dans le cas du traitement BEOL (à environ 20 nm), le cuivre est d'abord revêtu de tantale, puis de TaN par dépôt physique en phase vapeur (PVD); ce cuivre enduit de barrière est ensuite enduit de plus de cuivre par PVD, et rempli de cuivre enduit électrolytiquement, avant d'être traité mécaniquement.
Il a également une application dans les résistances à couche mince. Il présente l'avantage par rapport aux résistances nichromes de former un film d'oxyde passivant résistant à l'humidité.