Nitride de Tantalum (TaN) -Sutilisation cible
Description du produit
Caractéristique
le nitrure de tantale (TaN) est un composé chimique, un nitrure de tantale. Il y a plusieurs phases de composés, stoichimetrically de Ta2N Ta3N5y compris TaN.
Formule chimique: TaN
Masse molaire: 194,955 g / mol
Apparence: cristaux noirs
Densité: 14,3 g / cm3
Point de fusion: 3090 ° C (5590 ° F; 3360 K)
Solubilité dans l'eau: insoluble
Structure cristalline: Hexagonal, HP6
Application
Il est parfois utilisé dans la fabrication du circuit intégré pour créer une barrière de diffusion ou \ « colle \ » entre des couches de cuivre ou d'autres métaux conducteurs. (. C à 20 nm) dans le cas d'un traitement BEOL, le cuivre est d'abord revêtu de tantale, puis avec TaN en utilisant un dépôt physique en phase vapeur (PVD); ce cuivre revêtu de barrière est ensuite revêtue avec plus de cuivre par PVD, et remblayée avec du cuivre revêtu électrolytiquement, avant d'être traitée mécaniquement.
Il a également une application dans des résistances à couches minces. Il a l'avantage sur nichrome résistances de formation d'un film d'oxyde de passivation qui est résistant à l'humidité.