Nitride de Tantalum (TaN) -Poureur
Description du produit
Caractéristique
Le nitrure de tantale (TAN) est un composé chimique, un nitrure de tantale. Il y a plusieurs phases de composés, stoïchilétriquement de Ta2N à ta3N5y compris bronzer.
Formule chimique: Tan
Molaire Mass: 194.955 g / mol
Apparence: cristaux noirs
Densité: 14,3 g / cm3
Point de fusion: 3,090 ° C (5 590 ° F; 3 360 K)
Solubilité dans l'eau: insoluble
Structure cristalline: hexagonale, HP6
Application
Il est parfois utilisé dans la fabrication de circuit intégré pour créer une barrière de diffusion ou \"colle \" de couches entre le cuivre ou d'autres métaux conducteurs. Dans le cas de traitement de beol (à c. 20 nm), le cuivre est d'abord recouvert de tantale, puis avec un bronzage à l'aide de dépôts de vapeur physique (PVD); Ce cuivre recouvert de barrière est ensuite recouvert de plus de cuivre par PVD et rempli de cuivre enduit électrolytiquement, avant d'être traité mécaniquement.
Il dispose également d'une application en résistances à film minces. Il présente l'avantage sur les résistances de nichrome de former un film d'oxyde passivant qui résiste à l'humidité.