Cible de nitrure d'aluminium (AlN) -SUTTERING
Description du produit
Caractéristique
Le nitrure d'aluminium (ALN) est un nitrure solide d'aluminium. Il a une conductivité thermique élevée allant jusqu'à 285 w / (m · k) et est un isolant électrique. Sa phase de wurtzite (W-ALN) a une bande de bande d'~ 6 EV à la température ambiante et a une application potentielle dans l'optoélectronique fonctionnant à des fréquences ultraviolets profondes.
Formule chimique: ALN
Masse molaire: 40,989 g / mol
Apparence: Blanc à un solide jaune pâle
Densité: 3,255 g / cm3
Point de fusion: 2500 ° C (4530 ° F; 2770 K)
Solubilité dans l'eau: hydrolyses (poudre), (monocristallin) insoluble
insoluble Solubilité, sous réserve de l'hydrolyse dans des solutions aqueuses de bases et d'acides
écart de bande: 6,015 eV
Mobilité électronique: ~ 300 cm2/(Vs)
conductivité thermique: 285 W / (m · K)
Indice de réfraction (nD): 2.1-2.2 (cristaux) 01/08 à 01/09 (amorphe)
Structure en cristal: Wurtzite
Application
couche mince formée par croissance épitaxiale de nitrure d'aluminium cristallin est utilisé pour les capteurs à ondes acoustiques de surface (BP) déposées sur des plaquettes de silicium en raison des propriétés piézo-électriques de AlN. Une application est un filtre RF qui est largement utilisé dans les téléphones mobiles,] qui est appelé un gros film mince résonateur acoustique (FBAR). Ceci est un dispositif MEMS que les utilisations du nitrure d'aluminium en sandwich entre deux couches métalliques.
AlN est également utilisé pour construire des transducteurs ultrasons piézo-électrique, micro-usinée, qui émettent et reçoivent des ultrasons et qui peut être utilisé dans l'air sur des distances de télémétrie jusqu'à un mètre.
méthodes de Métallisation sont disponibles pour permettre AIN à utiliser dans les applications électroniques similaires à celles de l'alumine et de l'oxyde de béryllium. AlN nanotubes que des nanotubes inorganiques quasi-unidimensionnel, qui sont isoélectronique avec des nanotubes de carbone, ont été proposés en tant que capteurs chimiques pour les gaz toxiques.
Actuellement, il existe de nombreuses recherches dans le développement de diodes électroluminescentes pour fonctionner dans l'ultraviolet à l'aide de semi-conducteurs à base de nitrure de gallium et, en utilisant le nitrure de gallium d'aluminium de l'alliage, des longueurs d'onde aussi courtes que 250 nm ont été obtenus. En 2006, une émission inefficace LED AIN à 210 nm a été rapporté.