Application du plasma dans la technologie de revêtement de surface

publier Temps: 2021-10-18     origine: Propulsé

Dépôt de pulvérisation

La pulvérisation est l'utilisation d'un impact hydrique à grande vitesse solidecible de pulvérisation, de sorte que les molécules de surface éclaboussent et projetées sur le substrat pour former un film. L'énergie cinétique initiale de l'ion pulvérisateur est d'environ 100 ev.a un gaz plasma commun est l'argon.

Déposition assistée par plasma

Dépôt chimique de phase gazeuse La réaction chimique est effectuée sur un substrat à haute température pour obtenir une réponse d'énergie suffisante de précurseur de gaz.

Polymérisation plasmatique

La technique la plus simple pour le revêtement d'un polymère ou de film plastique est de l'appliquer à un solvant puis d'un support de revêtement de polymérisation de substrat.plasma consiste à exciter le monomère moléculaire dans le plasma, à travers une réaction chimique, pour former un polymère uniforme, revêtu du substrat. .Due à l'impact du plasma sur le substrat, l'adhésion est également très forte.

Gravure à plasma

La gravure alcaline humide est la méthode la plus simple et la moins chère, l'inconvénient est que la gravure alcaline a une orientation du plan cristallin, entraînera le problème de coupe du bas.

Pulvérisation plasma

Les pièces métalliques travaillant à des températures élevées doivent être recouvertes de céramique pour empêcher la corrosion à haute température.


Applications des matériaux semi-conducteurs

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Target de pulvérisation pour binder la cible