Composé de silicium
- Alliage fer-silicium (FeSi) - Cible de pulvérisation
- Cible de pulvérisation d'étain niobium (Nb3Sn)
- Niobium Étain (Nb3Sn) - Granulés
- Cible de pulvérisation de cobalt-fer-silicium (CoFeSi)
- Cible de pulvérisation en alliage de silicium-germanium (SiGe)
- Cible de pulvérisation cathodique en siliciure de vanadium (VSi2)
- Siliciure de rhénium (ReSi2)-Poudre
- Siliciure de tantale (TaSi2)-Poudre
- Siliciure de Niobium (Nb5Si3)-Poudre
- Siliciure de cuivre (Cu5Si)-Palettes