Matériau d'évaporation des oxydes
- Oxyde de Chrome (Cr2O3)-Palettes
- Oxyde de Hafnium (HfO2)-Palettes
- Oxyde de Titane (Ti4O7)-Pellets
- Granulés de dioxyde de titane (TiO2)
- Pastilles de dioxyde de zirconium (ZrO2)
- Pastilles de dioxyde de silicium (SiO2)
- Pellets de tétroxyde de tricobalt (oxyde de cobalt) (Co3O4)
- Zircone stabilisée à l'yttria (ZrO2-Y2O3 (3% molaire Y2O3)) - Granulés
- Oxyde d'indium et d'étain (In2O3-SnO2 （90:10% en poids）) - Pastilles
- Oxyde de Bismuth (Bi2O3)-Pellets