Matériau d'évaporation halogénure
- Fluorure d'ytterbium (YbF3)-Palettes
- Fluorure de magnésium (MgF2) - Pellesets
- Cryolite (Na3AlF6) -Pelles
- Fluorure de néodyme de magnésium (MgF2 - NdF3) - Pellets
- Fluorure d'aluminium (AlF3) - Pellets
- Fluorure de lithium (LiF) - Pellets
- Fluorure de hafnium (HfF4) - Pellets
- Fluorure de plomb (PbF2) - Pellets
- Fluorure de bismuth (BiF3) - Pellets
- Césium Europium Iodure (CsEuI3) - Pellesets