Cibles de pulvérisation céramique
- Cible de pulvérisation cathodique d'oxyde de cuivre et de baryum (BaCuO2)
- Cible de pulvérisation de phosphate de lithium et de vanadium (Li3V2(PO4)3)
- Cible de pulvérisation cathodique d'oxyde de cobalt et d'aluminium lithium (LixAlyCo1-yO2)
- Oxyde de lithium lanthane et de zirconium dopé au niobium (Li6.5La3Zr1.5Nb0.5O12)-cible de pulvérisation
- Cible de pulvérisation cathodique d'oxyde de titane et de lithium lanthane (Li0.5La0.5TiO3)
- Tantalate de lithium (LitaO3) -Sutilisation cible
- Oxyde d'yttrium (Y2O3) -SUTTERING CIBLE