Matériau d'évaporation carbure / nitride
- Granulés de carbure de silicium (SiC) de haute pureté
- Carbure de zirconium (ZrC) - Pastilles
- Pastilles de nitrure d'aluminium (AlN)
- Pastilles de nitrure de gallium (GaN)
- Carbure d'hafnium (HfC) - Pastilles
- Pastilles de nitrure d'hafnium (HfN)
- Carbure de niobium (NbC) - Pastilles
- Pastilles de nitrure de niobium (NbN)
- Pastilles de nitrure de silicium (Si3N4)
- Granulés de carbure de tantale (TaC)