Cible de pulvérisation rotative de pulvérisation de silicium (Si)
Description du produit
Caractéristique
Le silicium est un type important de matériaux cibles de pulvérisation cathodique, principalement utilisé dans le système de réaction du placage par pulvérisation cathodique magnétron de couches diélectriques SiO2 et SiN. d'autres caractéristiques, dans l'optique, la microélectronique et d'autres domaines, ont une large perspective d'application et les matériaux fonctionnels sont largement l'attention internationale.
Généralement, les cibles de silicium peuvent être divisées en types monocristallins et polycristallins.
Application
Utilisé pour la fabrication de film SiO2/Si3N4, principalement utilisé pour le verre optique, le système de film AR d'écran tactile, le verre à revêtement Low-E, l'électronique à semi-conducteur, l'écran plat, l'écran tactile.