Cible de pulvérisation cathodique en siliciure de zirconium (ZrSi2)

Caractéristique

Le siliciure de zirconium (IV) est un composé chimique inorganique de formule chimique ZrSi₂, constitué d'atomes de zirconium et de silicium.

Formule chimique：ZrSi₂

Masse molaire : 147,395 g/mol

Aspect : poudre grise

Densité : 4,88 g/cm³

Point de fusion : 1 620 °C (2 950 °F ; 1 890 K)

Solubilité dans l'eau : insoluble

Solubilité : soluble dans l'acide fluorhydrique

Application

Utilisé comme poudre de matière première en céramique fine, utilisée dans la production de creuset de production de film semi-conducteur.

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