Cible de pulvérisation cathodique en siliciure de titane (TiSi2)
Description du produit
Caractéristique
Le disiliciure de titane (TiSi2) est un composé chimique inorganique.
Formule chimique : TiSi2
Masse molaire：104,038 g/mol
Aspect : cristaux orthorhombiques noirs
Densité：4.02 g/cm3
Point de fusion 1 470 °C (2 680 °F; 1 740 K)
Solubilité dans l'eau, insoluble
Solubilité： soluble dans HF
Application
Le siliciure de titane est utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs.Il est généralement développé au moyen de la technologie salicide sur des lignes de silicium et de polysilicium pour réduire la résistance de couche des connexions de transistors locaux.Dans l'industrie microélectronique, il est généralement utilisé dans la phase C54.