Cible de pulvérisation cathodique en métal ruthénium (Ru)
Description du produit
Caractéristique
Le ruthénium est un élément chimique de symbole Ru et de numéro atomique 44. C'est un métal de transition rare appartenant au groupe du platine du tableau périodique.Comme les autres métaux du groupe du platine, le ruthénium est inerte vis-à-vis de la plupart des autres produits chimiques.
Phase à STP： solide
Point de fusion : 2607 K (2334 °C, 4233 °F)
Point d'ébullition： 4423 K (4150 °C, 7502 °F)
Densité (proche de rt)： 12,45 g/cm3
lorsque liquide (à mp)： 10,65 g/cm3
Chaleur de fusion： 38,59 kJ/mol
Chaleur de vaporisation： 619 kJ/mol
Capacité calorifique molaire： 24,06 J/(mol·K)
Application
La plupart du ruthénium produit est utilisé dans les contacts électriques résistants à l'usure et les résistances à couche épaisse.Une application mineure du ruthénium est dans les alliages de platine et comme catalyseur chimique.Une nouvelle application du ruthénium est comme couche de recouvrement pour les photomasques ultraviolets extrêmes.