Quelles sont les exigences matérielles pour la source d'évaporation dans le revêtement sous vide?

Généralement, le matériau et la forme de la source d'évaporation doivent être pris en compte. Les exigences générales de laMatériau de source d'évaporationsont:

Le point de fusion élevé

Étant donné que la température d'évaporation du matériau d'évaporation (la température de la pression de vapeur d'équilibre de 1,3 pa) est principalement comprise entre 1000 ~ 2000 ℃, le point de fusion du matériau source d'évaporation doit être supérieur à cette température.

Pression de la vapeur d'équilibre

L'objectif principal est d'empêcher ou de réduire le matériau source d'évaporation sous matériaux d'évaporation à haute température et devenir des impuretés, dans la couche de revêtement d'évaporation. Uniquement dans les matériaux de source d'évaporation Lorsque la balance de la pression atmosphérique est suffisamment basse pour assurer la plus petite évaporation de soi pendant l'évaporation, pas affecter la couche de la membrane du vide et de la pollution, afin de rendre la quantité de matériaux de source d'évaporation est très peu, évaporation température, matériau de source d'évaporation Le choix, doit rendre le matériau de la température d'évaporation est inférieur à la source d'évaporation, la pression de balance de 1,3 x 10-6 Pa La température correspondant à 1,3 x 10-3Pa peut être utilisée pour préparer de la haute qualité. films.

Propriétés chimiques stables

La réaction chimique avec un matériau d'évaporation ne doit pas se produire à haute température. À haute température, certains matériaux de source d'évaporation réagissent et diffusent avec des matériaux évaporants pour former des composés et des alliages. Surtout la source d'évaporation d'alliages d'alliage eutectique est facile à brûler. Par exemple, Tantalum et or formeront des alliages à haute température et l'aluminium, le fer, le nickel, le cobalt formera également des alliages avec du tungstène, du molybdène, du tantale et d'autres matériaux évaporatifs. Le tungstène peut également réagir avec de l'eau ou de l'oxygène pour former des oxydes volatils tels que WO, WO2 ou WO3. Le molybdène peut également réagir avec de l'eau ou de l'oxygène pour former un moo3 volatile, etc. Par conséquent, devrait choisir le matériau qui ne réagira pas avec le matériau de revêtement ou de former l'alliage pour faire le matériau source d'évaporation du matériau.

Les matériaux utilisés comme sources d'évaporation doivent avoir un point de fusion élevé, une faible volatilisation et une faible briefs après refroidissement à haute température. La source d'évaporation linéaire couramment utilisée doit être capable d'être mouillée avec la phase métallique d'évaporation, le point de fusion est bien supérieur à la température d'évaporation du plaqué or et ne réagit pas avec l'alliage plaqué or.