Matériau cible de tungstène de haute pureté (fabrication de puces)

Application de la cible de pulvérisation de tungstène

Haute puretécible de tungstèneest un substrat important pour la transition du film oxyde de tungstène dans des dispositifs à semi-conducteurs. En raison du point de fusion élevé du tungstène, les cibles de tungstène sont principalement préparées par la métallurgie en poudre. La méthode de préparation comprend la pureté de 99,999% ou plus, la taille des particules de 3,2 4,2 μm de poudre de tungstène pour un mélange uniforme, placée dans le four de traitement de la chaleur sous vide pour le pré-dégazage, puis en hydrogène, continuez les marches de dégazage de chauffage; Poudre de tungstène dégazé à travers une pression chaude sous vide pour compléter une étape de frittage; Le deuxième processus de frittage est complété par une presse isostatique chaude après le premier frittage. En meulant toute la surface de la deuxième plaque de tungstène frittée à travers l'usinage, le matériau cible de tungstène de haute pureté avec une pureté de 99,999% et une densité de 99% et supérieure à la semi-conductrice a été obtenue, ce qui présente les avantages de la haute pureté, de la forte densité et de la faible résistance.

La pureté de la cible de tungstène dans le circuit intégré à semi-conducteur à semi-conducteur a une exigence élevée, généralement la pureté cible doit être supérieure à 99,999%. Dans le même temps, la densité de la cible a également un effet important sur le processus de revêtement et la performance du film, la densité de la cible affecte non seulement le débit de dépôt, la densité des particules de film de pulvérisation et du phénomène de décharge, mais affecte également les propriétés électriques et optiques du film de pulvérisation. Plus la cible, plus la densité des particules de film de pulvérisation, plus le phénomène de décharge est faible, et mieux la performance du film.

Seules quelques sociétés aux États-Unis et au Japon ont maîtrisé la technologie de fabrication pour les objectifs de tungstène utilisés dans la fabrication de copeaux. Heureusement, avec le soutien de la politique «fabriquée en Chine 2025», de plus en plus de personnes talentueuses sont rentrées en Chine pour créer leurs propres entreprises, ce qui leur apporte une expérience technologique avancée et créant une meilleure atmosphère pour la recherche et le développement. Cela a non seulement mis fin à l'histoire du matériau ciblé en métal ayant à compter sur les importations, mais également entré dans le premier échelon du monde dans ce domaine.