La cible de pulvérisation de métal

Tendance de développement detechnologie cible

Le matériau cible de pulvérisation en métal de haute pureté est principalement utilisé dans la fabrication de plaquettes et le processus d'emballage avancé. Prendre la fabrication de copeaux à titre d'exemple, nous pouvons voir que d'une puce de silicium à une puce doit passer à sept processus de production, à savoir la diffusion (thermique), la photolithographie (ion), l'implantation ionique (I) ondulante), la diélectriquedeposition, le polissage mécanique chimique (CMP), métallisation, chaque lien doit utiliser des équipements, des matériaux et des procédés correspondant à une cible par un.SuTering est utilisé dans le processus de \"métallisation \", à travers l'équipement de dépôt de film mince utilisant des particules de haute énergie pour bombarder la cible, puis formant une fonction spécifique de la couche métallique sur la puce de silicium, telle que la couche conductrice, la couche barrière, etc.

La tendance de développement de la technologie cible de pulvérisation est étroitement liée à l'innovation technologique dans le domaine de l'application en aval. Avec le progrès technologique du marché des applications dans des produits de films minces ou des composants, la cible de pulvérisation doit également changer en conséquence.

Dans les champs d'application en aval, l'industrie des semi-conducteurs présente les exigences de qualité les plus élevées pour la cible de pulvérisation et le film de pulvérisation de pulvérisation. Avec la fabrication de plaquettes de silicium de grande taille, la cible de pulvérisation est également nécessaire pour se développer dans la direction de taille supérieure. Dans le même temps, il propose également des exigences plus élevées pour le contrôle du grain cible de pulvérisation.

La pureté du film de pulvérisation est étroitement liée à la pureté de la cible de pulvérisation. Afin de répondre aux besoins de la haute précision et de la technologie de semi-conducteurs Micron à haute précision, la pureté de la cible de pulvérisation augmente et atteint même une pureté de 99,9999% (6n).

Les matériaux ciblés comme une industrie émergente stratégique se concentrent sur l'encouragement du développement et l'émission de politiques industrielles, \"Le 13ème plan quinquennal\" propose que d'ici 2020, le taux d'autosuffisance des principaux matériels à atteindre plus de 70% La réalisation initiale de la transformation stratégique de la Chine d'un pays matériel vers une puissance matérielle. Aujourd'hui, les entreprises chinoises ont effectué des percées dans le domaine des matériaux cibles. Sous le fond économique actuel, les matériaux cibles nationaux feront de grands progrès.