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Cible de pulvérisation

Nombre Parcourir:9     auteur:Éditeur du site     publier Temps: 2021-10-19      origine:Propulsé

Méthode de préparation deCible de pulvérisationMatériel

Pressage à chaud sous vide

La cible de céramique ITO haute densité avec une densité de 91% à 96% peut être produite en utilisant de la chaleur et de l'énergie mécanique pour densifier la poudre ITO par pressage à chaud sous vide. Cette méthode peut facilement obtenir une cible ITO avec une densité proches de la puissance attendue et de la porosité. Zero.Cever, en raison de la limitation de l'équipement et de la taille du moule, pressage chaud sous vide présente moins d'avantages dans la préparation de la cible de pulvérisation de grande taille.

Pressage isostatique chaud

Le pressage isostatique chaud (HIP) est utilisé pour préparer des cibles de pulvérisation à pulvériser ITO par frittage sous pression ou sous pression à haute température.Similaire au pressage à chaud sous vide, la hanche peut être chauffée et sous pression pour obtenir une densité élevée (densité presque théorique) et d'excellentes propriétés physiques et mécaniques . Mais il est également limité par la pression de l'équipement et la taille du cylindre.

Frittage de température ambiante

Le frittage de la température ambiante est d'abord préparer la cible de haute densité préfabriquée par la coulée de la boue ou le pré-dépression, puis le frittage de la cible ITO dans une certaine atmosphère et la température. Le plus grand avantage est qu'il peut produire un matériau cible de pulvérisation de grande taille. Qu'il soit comparé à un autre frittage. Méthodes, la pureté de la cible préparée par cette méthode est plus faible.

Pressage isostatique froid

Le pressage isostatique froid (CIP) prend du caoutchouc ou du plastique comme matériau recouvrant et liquide comme support de pression pour transférer une pression haute haute pression à la température ambiante.PIP peut également préparer une cible de pulvérisation de pulvérisation ITO avec une taille plus grande. Et bon marché, convient à la production de masse. Qu'il convient à la production de masse. Le matériau à fritter à 1500 ~ 1600 ° C dans l'environnement pure d'oxygène de 0,1 ~ 0,9 MPa, qui a un risque élevé.

Application de matériel cible de pulvérisation ITO

La cible de pulvérisation de l'ITO et ses dérivés, tels que le film ITO et le verre ITO, sont largement utilisés dans toutes les promenades de la vie. Les cibles sont couramment utilisées pour effectuer des revêtements conducteurs transparents pour les écrans à cristaux liquides (LCD), les écrans de panneau plat, les affichages à plasma et la touche. Panneaux. Les films ITO sont utilisés pour les diodes électroluminescentes, les cellules solaires et les revêtements antistatiques. Ajout de l'industrie électronique, les cibles ITO sont également utilisées dans divers revêtements optiques, notamment des revêtements réfléchissants infrarouges et du verre de lampe à vapeur de sodium pour les automobiles.

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